離子滲氮法是由德國人B.Berghaus于1932年發(fā)明的。該法在0.1-10Torr的含氮?dú)夥罩?，以爐體為陽*，被處理工件為陰*，在陰陽*間加上數(shù)百伏的直流電壓，由于輝光放電現(xiàn)象便會(huì)產(chǎn)生象霓虹燈一樣的柔光覆蓋在被處理工件的表面。此時(shí)，已離子化了的氣體成份被電場加速，撞擊被處理工件表面使其加熱。同時(shí)依靠濺射及離子化作用等進(jìn)行氮化處理。

　　綜上所述，離子氮化是在真空爐體內(nèi)，通過稀薄氣體放電，形成由離子、電子和中性粒子所構(gòu)成的局部電離狀態(tài)(即等離子體)中進(jìn)行處理的。

　　離子滲氮開始應(yīng)用于生產(chǎn)實(shí)際，至今已經(jīng)有四十余年，離子滲氮已經(jīng)成為離子熱處理技術(shù)中成熟、普及、富有生命力的工藝之一。作為一種全新的滲氮方法，現(xiàn)已廣泛應(yīng)用于汽車、機(jī)床、造船、紡織機(jī)械、石化機(jī)械、儀器、擠壓成型機(jī)、齒輪、驅(qū)動(dòng)軸、蝸輪、蝸桿、機(jī)床主軸、套筒、凸輪、瓦楞紙軋輥、絲杠、曲軸、閥、減速機(jī)的同步環(huán)、液壓缸、導(dǎo)電碼線筒、模具、量刃具等許多領(lǐng)域、其應(yīng)用范圍隨著工藝的不斷開發(fā)將日益擴(kuò)大。